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电子级二乙烯三胺五甲叉膦酸DTPMPA

Electronic Grade Diethylene Triamine Penta (Methylene Phosphonic Acid) (DTPMPA)

一、机能与用处

电子级DTPMPA拥有很强的金属离子螯合能力,在半导体加工的研磨、抛光、蚀刻等工艺,能够提高研磨效能和光洁度,在显示面板、PCB板蚀刻加工过程中使用能够削减毛刺,提高铜箔表表光洁度。

二、技术指标

项  目 指  标
表 观 棕黄色或棕红色粘稠液体
活性组分/% ≥50.0
单金属离子/ppb <1000ppb(可凭据客户需要定造)

三、包装与贮存

电子级DTPMPA用电子级塑料桶包装,每桶25kg、200kg,可凭据客户需要定造。贮于室内阴凉处,贮存期为十二个月。

四、安全与防护

电子级DTPMPA为酸性液体,操作时把稳劳动防护,应预防与皮肤眼睛等接触,接触后应立即用大量净水冲刷。

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